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序號(hào) 特征 6吋參數(shù) 5吋參數(shù)
1 外延層摻雜劑 N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus N,N+:phosphorus,Arsine
2
 外延層晶向 <100>,<111>
 <100>,<111>
3
 外延層電阻率 0.5～120Ω?cm 0.5～120Ω?cm
4 外延層電阻率中心值偏差 ≤±2% ≤±2%
5 外延層電阻率均勻性 ≤±3%
 ≤±3%
6 外延層厚度 3～150μm 3-150μm
7 外延層厚度中心層偏差 ≤±1% ≤±1%
8
 外延層厚度均勻性 ≤±3% ≤±3%
9
 翹曲度/彎度 -60～60 -50～50
10
 總厚度變化 ≤18 ≤10
11 堆垛層錯(cuò) ≤5/cm2 ≤5/cm2
12 滑移線 ＜5條，同時(shí)總長度≤硅片直徑的1/2 ＜5條，同時(shí)總長度≤硅片直徑的1/2
13 霧 NONE NONE
14
 劃傷 NONE
 NONE
15
 凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪 NONE
 NONE
16 崩邊 NONE
 NONE
17 異物 NONE
 NONE
18 背面沾污 NONE
 NONE
19 點(diǎn)缺陷 NONE
 NONE
  • 電話:0559-4522885
    電話:0559-4527161
  • 黃山芯微電子股份有限公司
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